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10℃/min 快速温变箱|氮化铝陶瓷载片|GB/T2423.22

智能制造网 2026-10-29 00:00 27 次阅读

氮化铝(AlN)陶瓷载片具备高导热特性,广泛作为功率器件、COB 封装、射频芯片散热基板。陶瓷与金属厚膜、金属化线路热膨胀失配,快速温变循环下易产生陶瓷微裂纹、金属化层起皮、导带断裂。本试验依据 GB/T2423.22,采用 10℃/min 快速温变箱,模拟芯片工作时快速温度波动,考核陶瓷基体与金属化镀层界面结合可靠性,筛选隐性裂纹缺陷。

氮化铝陶瓷载片、金属化 AlN 基板、厚膜电路陶瓷基片

10℃/min 快速温变箱、多路温度采集仪、金相显微镜、扫描声学显微镜(C-SAM)

GB/T2423.22-2012 环境试验 试验 N:温度变化

温度区间:-40℃~150℃

升降温速率:10℃/min

高温驻留:15 min

低温驻留:15 min

循环次数:60 次

样品区域温场均匀度≤±2℃

陶瓷载片单层平铺,避免叠放挤压;载片之间预留气流通道;

热电偶贴在陶瓷基板金属化区域,监控基板真实温度;

基板金属线路面不要正对出风口强气流直吹,避免局部温差冲击。

设备自检,核查速率校准记录、超温保护;

初始检测:外观显微检查、C-SAM 扫描,记录内部缺陷基线;

样品上架布点,启动 10℃/min 快温变程序,连续循环;

全程记录温度曲线,监控实际升降温速率,记录是否出现速率衰减;

循环结束,室温恢复 30 min;

取出样品,金相观察金属化层,C-SAM 扫描陶瓷内部、界面分层情况。

氮化铝陶瓷基体无贯穿裂纹、边角无崩裂;

金属化导带无起皮、翘离、断线;

界面无分层、空洞扩展。

陶瓷脆性大,样品取放避免磕碰;

满载大量陶瓷基板时热沉大,需提前验证满载下温变速率是否达标;

速率不允许超限,防止超出基板设计热冲击耐受等级。

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